Máquina de deposição MOCVD TurboDisc® MaxBright® MHP™

de camadas finas

O sistema do Multi-Reator do MOCVD de TurboDisc® MaxBright® MHP™ GaN representa o sistema modular o mais atrasado do elevado desempenho projetado especialmente produzir o rendimento excelente da melhoria da uniformidade do comprimento de onda da dentro-bolacha de até 20% sobre o MaxBright da pegada, do serviceability, de benefícios e da configuração similares da disposição. Os avanços da ferragem do multi-reator oferecem a uniformidade melhorada do comprimento de onda através de todas as bolachas conseguir uns rendimentos mais elevados. MaxBright MHP igualmente oferece uma mais baixa posse custada sobre o MaxBright. O sistema combina reatores elevados múltiplos do MOCVD da produção em um modular 2 - ou arquitetura do conjunto de 4 reatores para leverage a tecnologia de FlowFlange® de Veeco e a perícia uniformes produção-provadas da automatização. Baseado no projeto highly-successful de K465i de Veeco, o sistema inclui reatores melhorados que assegura a capacidade expandida da bolacha e avança, proprietário, tecnologia térmica do controle do circuito fechado.