Interferômetro para medição de planeza Verifire™ MST
para medição de comprimentopara medição de espessuraóptico

Interferômetro para medição de planeza - Verifire™ MST - Zygo - para medição de comprimento / para medição de espessura / óptico
Interferômetro para medição de planeza - Verifire™ MST - Zygo - para medição de comprimento / para medição de espessura / óptico
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Características

Aplicações
para medição de planeza, para medição de comprimento, para medição de espessura
Especificações
a laser, óptico, de Fizeau

Descrição

Simplificar o complexo - múltiplas superfícies criam padrões complexos de franjas, o Verifire™ MST utiliza tecnologia patenteada de mudança de comprimento de onda para adquirir dados de fase de múltiplas superfícies simultaneamente. Relata métricas chave a partir de superfícies individuais de janelas paralelas, frente de onda transmitida, bem como informação precisa de superfície para superfície como variação de espessura total (TTV), cunha e até mesmo falta de homogeneidade do material. O Verifire™ MST aborda aplicações exigentes como vidro de visualização de dispositivos móveis, discos de armazenamento de dados e bolachas semicondutoras com metrologia precisa de superfície e variação de espessura para peças de teste tão finas quanto 0,5 mm O Verifire™ MST fornece medições de alta precisão da forma da superfície e da frente de onda transmitida dos componentes ópticos e sistemas de lentes. É o único sistema interferométrico comercial que pode medir múltiplas superfícies simultaneamente, mantendo a informação relativa da superfície e fornecendo resultados rápidos e simples a partir de múltiplas superfícies. - Caracterização simultânea de superfície e frente de onda e metrologia precisa de superfície a superfície como TTV e cunha - Qualificação da superfície e espessura de peças de teste tão finas quanto 0,5 mm de espessura - Vasta gama de resolução lateral, incluindo desenhos ópticos limitados por pixéis para proporcionar a melhor ITF - 1,2k x 1,2k (inclui torre de zoom discreto para zoom óptico até 3X) - 2,3k x 2,3k - 3.4k x 3.4k

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