Evaporadores de processo HORIBA

... A Série MV-2000 consegue uma vaporização estável, mesmo a baixas temperaturas, utilizando o novo método de fluxo tornado. Isto é adequado para a vaporização de uma gama de líquidos, mesmo de fontes difíceis como o "High-k", uma fonte líquida que é facilmente ...

... O sistema de cozedura mais vendido da HORIBA foi desenvolvido para satisfazer os requisitos das indústrias de alta tecnologia actuais. Sem a necessidade de um gás de transporte, o sistema pode fornecer vaporização estável de materiais como TEOS (a uma ...

... A série VC é capaz de vaporizar rapidamente água pura ou outras fontes líquidas sem gás de transporte, o que permite construir um sistema de vaporização mais compacto. A HORIBA pode fornecer-lhe um sistema de vaporização personalizado que consiste nesta ...

... de injeção Seguem-se os principais passos envolvidos na vaporização de uma fonte líquida e no seu fornecimento à câmara de processo. 1. O caudal da fonte de líquido é medido e a quantidade de líquido é realimentada e controlada pela válvula. 2. ...

... O processo de Deposição Química de Vapor Metal-Orgânico (MOCVD) é amplamente utilizado no fabrico de LEDs, dispositivos ópticos e outros componentes. Os precursores líquidos e sólidos são fornecidos à câmara de reação através do controlo ...

... Isto leva a um aumento do tempo de atividade, redução do manuseamento pelo operador e redução do risco de contaminação do processo. A Série LU inclui uma função para implementar automaticamente uma sequência de purga de líquido remanescente. Utilizando ...