Sistemas de automação de processos RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd

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sistema de automação de produção
sistema de automação de produção
RTA-DIA30000HP-R/L

... ● Aplicar em wafers de tamanho 156/230 ● Compatível com diferentes marcas de equipamentos de difusão de wafers e diferentes tamanhos de barco de quartzo Características : ● Carregamento e descarregamento: Cassette ● Saída: barco de quartzo ● ...

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sistema de automação de produção
sistema de automação de produção
PECVD

... Processo : ● Aplicar em wafers de tamanho 156/230 ● Compatível com diferentes tamanhos de equipamento PECVD de tubos e de chapa PECVD Características : ● Carga e descarga : Cassette ou Stack ● Carregamento e descarregamento: ...

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sistema de automação de produção
sistema de automação de produção
RTA-ALD9000L/UL

... Processo : ● Adaptar a wafers de silício M2 (156,75),M4 (161,75),G1 (158,75),M6 (166),M10(182),M12(210) e 230mm ● Compatível com diferentes tamanhos de equipamentos PERC Características : ● Carregamento e descarregamento: ...

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sistema de automação de processos
sistema de automação de processos
WEA100000L/ul

... Processo : ● Adaptar a wafers de silício M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) e 230mm ● Compatível com diferentes marcas de texturização de wafer e equipamentos de remoção de PSG Características ...

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sistema de automação de processos
sistema de automação de processos
WTA9000L/ul

... Processo : ● Adaptar a wafers de silício M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) e 230mm ● Compatível com diferentes marcas de texturização de wafer e equipamentos de remoção de PSG Características ...

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sistema de automação de processos
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RTA-SRT-8000

... Processo : ● Aplicar em bolachas de tamanho 125/156 ● Compatível com diferentes tamanhos de equipamento PECVD de tubos e de chapa PECVD Características : ● Design online de canal duplo compartilhado por todos os AB ● ...

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sistema de automação de processos
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HIT

... Processo : ● Adaptar a wafers de silício M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) e 230mm ● Compatível com diferentes tamanhos de equipamentos PECVD tubulares e equipamentos PECVD de placas ...

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