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... MCは、中型内部マウントエンドブロックです。 最大2500mmのターゲットに対応でき、最大100kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 SCIエンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 この設計により、エンドブロック内のガルバニック腐食の可能性が排除され、水漏れや短絡の原因となります。 ...
Sputtering Components
... 非常にコンパクトなパッケージで、80mm内径のターゲットに対応しており、小型システムやR&Dシステムに最適な選択肢となっています。 仕様 タイプ シンプルなシングルエンド設計で、迅速なターゲット交換、高い信頼性と簡単なメンテナンスを可能にするアウトボードサポート付き、80mm IDターゲット用 パワー(最大) 20 kW DCまたはMFAC V/A 1500 V / 50 A 目標長さ（最大 千ミリ 厚み 一二二ミリ メンテナンス ご自分のスケジュールや施設内で自分で行うことができます。 エンドブロックは取り付けたままにすることができます。 典型的な要件。 ...
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