ロボット式取扱設備 WHM

一体型ウェハー用

アデンソーが開発したWHMウェーハハンドリングモジュールは、中央真空チャンバーとWHRウェーハハンドリングロボットを内蔵し、高真空での基板/キャリアのハンドリングに最適化されています。当社のWHMウエハハンドリングモジュールは、完全に独立して動作し、省スペースで、既に完全に機能している稼働中のプロセスステーションに簡単にドッキングすることができます！ WHR ウェハーハンドリングロボット 4～8ポート真空チャンバー LLM ロードロックモジュール ステルスキャリア WAM ウェハアライメントモジュール FLP FOUP300 VAC.LOADPORT Adenso WHR ウェハーハンドリングロボットは、モジュール式 VAC.ROBOTICS プラットフォームの心臓部です。Adenso.WHR は、真空ロボット(産業用 VacBot)で繊細で大きな基板をハンドリングするタスクを引き受け、最大負荷容量と大きなレンジのために最適化されています。シンプルなアーム形状は、小さなゲートバルブとコンパクトなハンドリング回転エリアを可能にします。 一目でわかるメリット 範囲: 最大の移動距離 - 最大の柔軟性 積載量最大積載量 - 無制限の基板選択 ゲートバルブ： インテリジェントな運動学 - 最小のゲートバルブ フットプリント：省スペース運動学 - 最小の設置スペース 複雑性: Adenso でシンプルに - スペースとコストを節約！