プログラム可能プラズマ発生器 eVerest RF

無線周波数

eVerest®RFジェネレーターは、半導体産業が新たな転換点に向かって加速する中、変革的なプラズマ制御のニーズを満たします。設定可能なマルチレベルパルシングにより、瞬時またはユーザー定義のトランジションタイミングが可能です。さらに、広い周波数掃引範囲を持つ高速、高精度モデルベース周波数チューニングにより、プロセスの安定性と制御性が向上します。これらの機能に加え、より高速なセットポイント応答、パルス状態開始時の制御されたオーバーシュート、および洗練されたPowerInsight by Advanced Energy™ IoTインテリジェンスが、次のテクノロジー・ノードに向けたプロセス・イノベーションを後押しします。 特徴 完全なRF供給システム、マッチングソリューションの複数のオプション、およびインテリジェントな同期化 プログラム可能なマルチレベル・パルス・プロファイル内でのスピードと制御 高速RF出力応答とパルス状態の立ち上がり/立ち下がり時間 最大±10%の周波数可変範囲 設計されたdP/dZ安定性 PowerInsight by Advanced Energy™ IoTエコシステム 利点 2 nm未満の成膜およびエッチングプロファイルのための斬新なプロセス開発が可能 ケーブル長に依存しないRF安定性を備えた信頼性の高い点火を提供 あらゆるプラズマシステムにシームレスに統合 プロセススペースを拡大し、安定性ウィンドウを拡大 世界各地のサービスセンターによる製品およびアプリケーションサポート