無線周波数プラズマ発生器 Apex RF

汎用性の高いApex®ファミリーのRFジェネレーターとパワーデリバリーシステムは、チャンバーマウントに適したコンパクトなモジュール設計です。洗練されたRF変換技術を利用したApex RFジェネレーターと電力供給システムは、製品とプロセスの信頼性を高めます。高密度パワー能力により、高度なプラズマプロセスに最適です。また、様々な通信モデルと設定可能な機能により、プラットフォームをカスタマイズし、統合アプローチを検討することができます。カスタムジェネレーターのリードタイムは不要です。 特徴 合理的な設計で高出力密度 オンボードチャンバーマウント、オンツールフレームマウント、ラックマウント、シューボックスオプション 広帯域制御ループ オプションのパルス制御 高速アーク管理 利点 柔軟性を強化したプロセスツールを容易に統合 プラズマ動作の安定化 高速アーク管理による歩留まりの向上 プロセス要件に合わせて簡単にカスタマイズおよび構成可能