プラズマ発生器

... 概要
TruPlasma DC Series 4000 (G2) は、困難な材料の反応性直流スパッタリング向けに設計されたパルス式直流電源です。パルス運転とバイアス運転の両方に対応し、重要な PVD／PECVD プロセスで安定したプラズマ性能を提供し、アークによるダウンタイムや基板損傷を低減します。

タグライン
パルスプロセスで実現する光沢ある表面

主な特長

• デジタル信号処理によりプラズマ制御が安定し、アーク関連の時間損失を最小化。
• 低アークエネルギーの高速アーク処理で基板損傷や表面欠陥を抑制。
• 広い可変パルス周波数と可変リバース／バイアス電圧により柔軟なプロセス調整が可能。
• ウォーターチラー内蔵のコンパクトで堅牢な筐体により設置スペースとメンテナンスを削減。
• デュアル機能：1台でパルス運転とバイアス運転の両方をサポート。

• ハードコーティング：表面硬度向上や熱・化学的安定性の向上に貢献する安定したプラズマ。
• メタライゼーション（PVD）：光学・電気特性を得るための超薄膜で均一な金属層の堆積。
• 太陽電池：低アークエネルギーが求められるTCOなどの導電性透明膜の堆積に適合。
• 建築用ガラス：大面積PVDコーティングで高品質な被覆を実現。

• 飛散物（ドロップレット）や表面欠陥の低減により、コーティング品質と生産性を向上。
• 可変パルス周波数やバイアス運転により、多様なプロセス要求に柔軟に対応。
• 高度な監視・診断ツールによりプロセス最適化を支援し、稼働停止時間を短縮。

• 複数電源の並列運転および同期機能（アーク検出の同期やパルスモードの同期が可能）によりマルチターゲットシステムに対応。

... テトラ30プラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています。 分析 (SEM、TEM) 考古学 自動車 ライフサイエンス エラストマー技術 電気工学 電子顕微鏡 精密工学 研究開発 半導体技術 小ロット生産 プラスチック技術 医用工学 マイクロシステム技術 ...

... Arcojet® PG 051Pは、より小さなプラスチック部品、特に押出ラインのプラスチックプロファイル、射出成形部品、カップやチューブの処理に使用され、接着剤接合や印刷前に使用されます。 最大15m/分の治療速度に対応できます。 Arcojet ユニットは、アース付きカウンター電極を必要としない自由に放射する電極で構成されています。 発電機は高電圧アーク放電を生成し、これは電極から空気流を介して処理される表面に伝達される。 このようにして生成されたプラズマは、印刷インク、塗料、接着剤などが付着することができるように、プラスチック表面を活性化するために使用される。 ...

... TruPlasma Bipolarシリーズ4000（G2.1）プロセス電源は、PVD、PECVD、反応性スパッタリングプロセスによるプラズマアシストコーティング用に特別に設計されました。フレキシブルに形成可能な出力信号と洗練されたアーク管理により、太陽電池や半導体の製造、装飾層や耐摩耗層の成膜、建築用ガラスのコーティングに優れた結果をもたらします。 極めて低いアークエネルギー 完全にデジタル化されたアーク管理により、最高のコーティング品質と生産性を実現します。 設定可能な波形 出力信号を変化させることで、様々なプロセスに簡単に対応。 1台のジェネレーターで様々なアプリケーションに対応 DC、パルスDC、バイポーラ：多様な設定によるコスト削減 一体型ウォータークーラー 外付け部品が不要なため、わずかなスペースで済みます。 ...

... PiezoBrush PZ3-iコールドプラズマユニットは、新規および既存の生産ラインに統合できるように設計されているため、コンパクトで安全かつ効率的です。特に、接着、印刷、ラミネートなどの工程の前処理に適しており、工程と製品の品質を同等に保証します。PiezoBrush PZ3-iは、そのユニークでコンパクトかつ堅牢な設計により、生産ラインに迅速かつ容易に組み込むことができ、部分的な自動化システムから完全自動化システムまで対応可能です。また、自動化された生産工程では包括的な工程管理が可能で、トレーサビリティを確保できます。また、この装置は直感的に操作でき、工具なしでメンテナンスが可能です。 アプリケーション ...

... FG5001ジェネレーターは、プラズマトリート社のプラズマジェネレーター5000シリーズの基本となる装置です。この装置は、非常にコンパクトな設計を特徴としています。そのためカウンターの下に設置するなど、スペースを節約することができます。 このクラスの製品としては初めて、定圧電源を実現しました。このシリーズには、最新型IGBT半導体増幅装置が設置され、高精度のプラズマ出力調節・制御機能と最高レベルの性能を兼ね備えています。FG5001ジェネレーターは、オプションとして最大2個のプラズマノズルを用いて運転することができます。 標準用途 パッド印刷システムなど、完成したシステムへの組み入れ 汚染の少ない製造区域におけるシンプルな用途 プラズマトリート社のラボ用システム、連続調整可能な線形ユニットとシングルプラズマノズル付の実験台（静止型、回転型） Openair-Plasma®プロセスサンプルテスト用システムの貸与 FG5001プラズマジェネレーターの主な特長 一体型小型コントローラーによるシステム制御・出力制御 出力：1000 ...

... eVerest®RFジェネレーターは、半導体産業が新たな転換点に向かって加速する中、変革的なプラズマ制御のニーズを満たします。設定可能なマルチレベルパルシングにより、瞬時またはユーザー定義のトランジションタイミングが可能です。さらに、広い周波数掃引範囲を持つ高速、高精度モデルベース周波数チューニングにより、プロセスの安定性と制御性が向上します。これらの機能に加え、より高速なセットポイント応答、パルス状態開始時の制御されたオーバーシュート、および洗練されたPowerInsight by Advanced ...