表面処理用プラズマ発生器

FG5001ジェネレーターは、プラズマトリート社のプラズマジェネレーター5000シリーズの基本となる装置です。この装置は、非常にコンパクトな設計を特徴としています。そのためカウンターの下に設置するなど、スペースを節約することができます。 このクラスの製品としては初めて、定圧電源を実現しました。このシリーズには、最新型IGBT半導体増幅装置が設置され、高精度のプラズマ出力調節・制御機能と最高レベルの性能を兼ね備えています。FG5001ジェネレーターは、オプションとして最大2個のプラズマノズルを用いて運転することができます。 標準用途 パッド印刷システムなど、完成したシステムへの組み入れ 汚染の少ない製造区域におけるシンプルな用途 プラズマトリート社のラボ用システム、連続調整可能な線形ユニットとシングルプラズマノズル付の実験台（静止型、回転型） Openair-Plasma®プロセスサンプルテスト用システムの貸与 FG5001プラズマジェネレーターの主な特長 一体型小型コントローラーによるシステム制御・出力制御 出力：1000 ...

このプラズマジェネレーターでは、プラズマトリート社が開発したプロセス制御装置を用いて、Openair-Plasma®マジェネレーターの作動と運転状態のモニタリングとを同時に行うことができます。それにより、短い反応時間で非常に高速のプロセスを管理することが可能です。また、各種の内蔵センサーにより、プラズマジェットの不具合を直ちに検出することができます。 グラフィックモニターには、プラズマジェネレーター、プラズマノズル、メンテナンススケジュールに関する情報が判りやすく表示されます。 この極めて信頼性の高いプラズマジェネレーターの技術により、最大4台(FG5002)または8台(FG5005)のプラズマジェットを同時に稼働することが可能です。 標準用途 完成したシステムへの組み入れ 厳しい環境条件下におけるマルチシフト運転に適した特長 各種業界における工業用途 2個以上のプラズマノズルを必要とする用途 FG5002/FG5005ジェネレーターの主な特長 一体型小型コントローラーによるシステム制御・出力制御 出力：2kVA ...

最高の性能を備えたプラズマジェネレーター FG5000シリーズは、最新の半導体技術と数多くのセンサーを組み合わせ、最高の使いやすさを実現しています。プラズマチャンバー内の圧力、電流、電圧、周波数を測定する一体型アナログモニターを使用し、プラズマからの発光分析を行うことによって、プロセス信頼性を最大限に高めています。 プラズマジェネレーターの制御を行うタッチスクリーンコントロールパネルには、使いやすく、判りやすい設計が施されています。このパネルには、シグナルチェーン機能付の高レベル・低レベル制御装置が組み込まれています。 標準的な用途 完成したシステムへの組み入れ 厳しい環境条件下におけるマルチシフト運転に適した特徴 さまざまなプロトコル機能を必要とする工業用途 ロボット補助製造システム FG ...

最新世代のバイポーラパルスジェネレータ PVD、PECVD及び反応性スパッタリングプロセスによるプラズマコーティング専用に開発されたTruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) シリーズのプロセス電力供給装置では、柔軟に構成可能な出力信号及び洗練されたアーク管理により、ソーラーセルや半導体の製造、装飾的で耐摩耗性の膜のコーティング、並びに建築用ガラスのコーティングの際に、極めて優れた結果が得られます。 最高のコーティング品質と生産性を実現する完全デジタル式のアーク管理 直流、パルス直流、バイポーラ: ...

最高レベルのプラズマ密度が得られ、極めて難度の高いプロセス要件に対応可能な高安定性・高出力ソリッドステートプラズマジェネレーター TruPlasma MWシリーズのジェネレーターはソリッドステート技術に基づいており、マグネトロンベースのマイクロ波増幅器よりも大幅に高い周波数精度が得られます。 革新的なプラットフォームコンセプトでは、最高レベルのプラズマ密度が得られるほか、極めて難度の高いプロセス要件にも効率的かつ経済的に対応可能です。 また、モジュール構造が採用されているため、出力の拡大縮小を正確に行うことも可能です。 ...