高周波プラズマ発生器

最高の性能を備えたプラズマジェネレーター FG5000シリーズは、最新の半導体技術と数多くのセンサーを組み合わせ、最高の使いやすさを実現しています。プラズマチャンバー内の圧力、電流、電圧、周波数を測定する一体型アナログモニターを使用し、プラズマからの発光分析を行うことによって、プロセス信頼性を最大限に高めています。 プラズマジェネレーターの制御を行うタッチスクリーンコントロールパネルには、使いやすく、判りやすい設計が施されています。このパネルには、シグナルチェーン機能付の高レベル・低レベル制御装置が組み込まれています。 標準的な用途 完成したシステムへの組み入れ 厳しい環境条件下におけるマルチシフト運転に適した特徴 さまざまなプロトコル機能を必要とする工業用途 ロボット補助製造システム FG ...

最高レベルのプラズマ密度が得られ、極めて難度の高いプロセス要件に対応可能な高安定性・高出力ソリッドステートプラズマジェネレーター TruPlasma MWシリーズのジェネレーターはソリッドステート技術に基づいており、マグネトロンベースのマイクロ波増幅器よりも大幅に高い周波数精度が得られます。 革新的なプラットフォームコンセプトでは、最高レベルのプラズマ密度が得られるほか、極めて難度の高いプロセス要件にも効率的かつ経済的に対応可能です。 また、モジュール構造が採用されているため、出力の拡大縮小を正確に行うことも可能です。 ...