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PECVDプラズマ発生器
TruPlasma DC Series 4000 (G2)
... スパッタリング向けに設計されたパルス式直流電源です。パルス運転とバイアス運転の両方に対応し、重要な PVD／PECVD プロセスで安定した
プラ
ズマ性能を提供し、アークによるダウンタイムや基板損傷を低減します。
タグライン
パルスプロセスで実現する光沢ある表面
主な特長
- デジタル信号処理によりプラズマ制御が安定し、アーク関連の時間損失を最小化。
- 低アークエネルギーの高速アーク処理で基板損傷や表面欠陥を抑制。
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