プラズマ表面処理装置 Zepto

実験用

2.6リットルのローコストプラズマラボシステムZEPTOは、手動、PC、PCCE制御で、主に以下のアプリケーションを対象としています。 小ロット生産、分析（SEM、TEM）、医療技術、滅菌、研究開発部門、考古学、繊維技術、プラスチック技術。 基本装置 ハウジングのサイズは、コンポーネントやオプションによって異なります。 チャンバー容量：バージョンにより、1.7～2.6リットル 電圧供給 230 V ガス供給 ニードルバルブ マスフローコントローラー(MFC) 真空チャンバー ホウケイ酸ガラス（UHP）製丸型カバー付き（約∅ 105 mm, L 200 mm または L 300 mm) W6 (約∅ 160 mm, L 180 mm) 料金 製品キャリアアルミニウムパネル、ステンレススチール、ホウケイ酸ガラス 電極 単層または多層 真空槽の外側に1対の電極を配置 操作方法 マニュアル PCCEコントロール (Microsoft Windows CE) ロータリースイッチ 圧力測定 ピラニ タイマ デジタル アナログ ジェネレーター 周波数 40 kHz：パワー0～100 W 13.56MHz：パワー0〜200W 追加オプション スペアパーツキット、圧力計、腐食性ガス用設計、ガスボトル、減圧器、ファラデーケージ、プラズマ重合用アクセサリー、テスト用インク、酸素発生器、スローベンチレーション、スローポンプオフ、メンテナンス/サービス、現地語ドキュメント、現地での設置、トレーニングなど。ご要望に応じて、その他のオプションも提供可能です。