プラズマ表面処理装置 Femto

研究所用

フェムトプラズマシステムは、モジュール方式でさまざまなバリエーションに組み合わせることができます。以下に、Femtoプラズマ・システムを使用した最も一般的なオプションの概要を紹介します。フェムトプラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています。 分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、小型製造、プラスチック技術、医療工学、マイクロシステム工学、感性工学、殺菌、繊維技術。 プラズマプロセス 材料洗浄 プラズマテクノロジーは、あらゆる種類の汚染、あらゆる基材、あらゆる後処理に対応するソリューションを提供します。このプロセスでは、分子レベルの汚染物質も分解されます。 材料の活性化 塗装、接着、印刷、接合において、良好な濡れ性は接合部材の接着のための必須条件です。 エッチング材料 プラズマ技術では、異方性エッチングと等方性エッチングが可能である。等方性エッチングはケミカルエッチングで、異方性エッチングはフィジカルエッチングで行われる。 材料へのコーティング 低圧プラズマを用いると、部品に様々なコーティングを施すことができます。真空チャンバー内に気体や液体の出発物質を供給することにより行われる。