ホスフィンガスセンサー PH3-A1

シランジボランゲルマン

当社のホスフィンセンサは、すべての水素化物をカバーしています。シラン（SiH4）、ジボラン（B2H6）、ゲルマン（GeH4）、半導体産業用ホスフィン（PH3）。 また、高濃度のホスフィンが発生する食品貯蔵用にPH3-BEセンサーを導入しました。