ガス用湿度計 5910 UHP

デジタル ディスプレイ付

5910水分計は、高速、高精度、校正安定性のために水晶振動子技術を使用し、連続監視および分析カートアプリケーションにおける超高純度（UHP）ガス分析用に設計されています。 ベースラインの安定性と水分濃度の10億分の1以下（ppbv）の変化に対する感度が非常に高く、最速の応答速度を提供します。 5910は、500ppbv以下の水分濃度変化に対応し、±100ppbv、または読み取り値の±10%以上の精度を実現します。 UHPガスの連続モニタリングや分析カートへの設置用に設計された5910は、LCD/OLEDディスプレイ製造や半導体産業に理想的な装置です。 応答速度 入念な設計とヒートトレースにより、5910はppbvの水分レベルの変化に対して数時間ではなく数分という比類のない応答速度を達成しました。通常、10分以内に25ppbvのステップ変化の80%に到達します。 簡単な使用方法 QCMセンサは再結合エラーを起こさないので、水素や酸素のストリームも簡単にモニターできます。ガスの変更は、ソフトウェアメニューで簡単に行えます。流量や圧力レギュレータを調整する必要はありません。 内部検証 5910は、ゼロベースラインを迅速かつ正確に検証することができます。内部ドライヤがサンプルガスからゼロガスを生成することにより、分析計のベースラインを検証することができます。