5920は、重要な水分測定アプリケーションにおいて、10億分の1レベルの低いガス分析を行うための幅広い性能を備えた、使いやすいプロセス水分計です。
マルチガス対応、卓越した精度、オンライン検証システム、高速応答、広い測定範囲など、幅広い性能を提供します。
5920は、分析に対するオペレータの信頼性を迅速に構築し、維持するように設計されており、高感度で高精度の水晶振動子センシングテクノロジと使いやすいオペレータインターフェイスを組み合わせて使用しています。
5920は、連続排出ガス監視システム、スポット監視、高純度ガス製造に適しており、産業ガス、LCD/OLEDディスプレイ製造、半導体産業での使用に理想的な装置です。
マルチガス対応
5920は、ヘリウム、アルゴン、ネオン、キセノン、クリプトン、窒素などの不活性ガスや、水素、酸素など、ほぼすべてのバルクの超高純度ガスに対応しています。簡単なメニュー選択で、新しいガス種用に分析器を再設定することができます。
卓越した精度
5920は、安定した正確な結果を必要とする水分アプリケーションに最適で、±1ppbv(読み値の±10%)の精度を実現します。この性能は、オンライン検証システムによって保証されています。
広い測定範囲
5920は、1~150ppbvの推奨動作範囲にわたって正確に測定します。また、最大1000ppbvまでのトレンド表示が可能で、プロセスのアプセットの性質を把握することができます。
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