フラット発熱体

ウェハーリングプレート状

製品概要
ホットプレスされた窒化ケイ素製のフルセラミック加熱素子。セラミック製の加熱導体を一体化。高性能セラミック製。

製品タイプ

• フラットヒーター — 高性能セラミック製
• グローイグナイター — 高性能セラミック製
• 加熱リング
• 放射加熱器
• 加熱ナイフ — 機械工学向け
• カートリッジヒーター — 機械工学向け
• 加熱プレート — 工業用途向け
• 加熱素子 — 包装機向け
• チップヒーター — 窒化ケイ素製の小型ヒーター
• ウエハ加熱 — 窒化ケイ素セラミック製

特性 / 仕様

• 材料: ホットプレス窒化ケイ素（高性能セラミック）
• 構造: セラミック一体構造でセラミック加熱導体を内蔵
• 適用分野: 機械工学、包装機、工業用途、小型加熱、ウエハ加熱
• メーカー: BACH Resistor Ceramics GmbH
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