ウェハー発熱体
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... 製品概要
ホットプレスされた窒化ケイ素製のフルセラミック加熱素子。セラミック製の加熱導体を一体化。高性能セラミック製。
製品タイプ
- フラットヒーター — 高性能セラミック製
- グローイグナイター — 高性能セラミック製
- 加熱リング
- 放射加熱器
- 加熱ナイフ — 機械工学向け
- カートリッジヒーター — 機械工学向け
- 加熱プレート — 工業用途向け
- 加熱素子
出力: 0.01 kW - 0.05 kW
最大温度: 800 °C - 800 °C
... 製品概要
酸素センサー(ラムダセンサー)用の平面セラミックヒーターは、セラミック製の加熱要素で、迅速に作動温度に到達し、高温の排気ガス環境下でもセンサー応答を安定させるために設計されています。コンベンショナル(スイッチ)型、ポンプ電流(XF)型、空燃比型、広域(5線式)型などを揃え、エンジン制御や排ガス後処理に使用されます。
主な特長
- 速いライトオフ時間(≤12 s)。
- 高温での良好な電気絶縁(≥1 MΩ @800℃)。
- 高温および毒性ガスに対する耐性。
- 熱サイクルに対する長寿命。
- 複数のタイプが選択可能:コンベンショナル、ポンプ電流/XF、空燃比、5線式広域など。
用途
- 自動車エンジン制御システム(ラムダセンサー用ヒーター)。
- オートバイ用排気後処理システム。
- 表面型サーマルイグナイタ、温風発生装置。
- 工具加熱、溶融・はんだ付け装置。
- 化学分析機器・ラボ機器。
- 環境モニタリング装置。
提供タイプと代表的な電気特性
- コンベンショナルスイッチ型(例:INC-F01):ヒーター抵抗
出力: 0 kW - 500 kW
最大温度: 300 °C - 1,350 °C
... Fibrothal®拡散炉用カセットには、ライトゲージとヘビーゲージがあり、使用目的に応じて横型または縦型に設計され、配置されます。 横型炉と縦型炉の選択は、採用される特定の半導体製造プロセスや製造施設の目標など、さまざまな要因によって決まります。 その選択は、ウェーハサイズ、プロセス要件、製造ワークフロー全体などの要因に影響される場合があります。 実際には、半導体製造には横型炉と縦型炉の両方が使用され、その選択は製造プロセスの特定のニーズと制約に依存します。 それぞれの炉にはそれぞれの用途があり、メーカーが生産設備で両タイプの炉を組み合わせて使用することもあります。 横型カセット カセットは通常200 ...