拡散炉用発熱体

最大温度: 1,100, 1,150 °C

... 低温処理で高精度を発揮するLGOヒータ ―半導体拡散炉用細線ユニットヒータ― モルダサームヒータLGOは特に半導体拡散炉での高精度低温処理を実現するために開発された、軽量・高速昇降温タイプのセラミックファイバー断熱材ユニットヒータです。ヒータの線径がモルダサームヒータよりも細いため、蓄熱量がさらに少なく、従って高速昇降温が可能です。ねらった温度で安定するまでの時間が早く、均熱性に優れ、低温域処理での精度が抜群です。 ...

最大温度: 1,250, 1,200 °C

... コストパフォーマンスに優れ長寿命。HGCヒータ ―半導体用太線コイルユニットヒータ― 最高使用温度1250℃まで使用可能なHGCヒータは、比較的高温処理を繰り返し行う半導体拡散炉用のユニットヒータとして最適です。太線コイルによる熱源は耐久性に優れ、長寿命を実現しています。 ...

出力: 5 kW
最大温度: 1,800 °C

... Kanthal® Super NCは、研究業界やエレクトロニクス業界におけるクリーンなプロセス加熱の要求を満たすように設計された、特別な機能を備えたMoSi2 加熱素子です。 最高温度1,800°C（3,270°F）。 よりクリーンで粘着性のある表面被膜 より低い金属含有量 * あらゆるヒーターで発生する発熱体表面のスケーリングは、最小限に抑えられます。 また、金属含有量も低減しているため、発熱体から炉内雰囲気への熱の放散が少なくなっています。 Fe、Ni、Cu（および要求に応じて他の元素）の含有量は、分析証明書で検証および確認できます。 ...

出力: 1,050 W - 10,800 W
最大温度: 0 °C - 1,350 °C

Fibrothal®拡散炉用カセットは、太陽電池や半導体向けの高品質結晶シリコンウェハーの製造に適した、「コンセントを挿して加熱するだけ」のソリューションです。 拡散炉用カセットは、1350°C (2460°F)までの運転温度向けの、垂直または水平の発熱体を備えた低質量設計の製品です。 ご要望に応じたヒーターも提供することができます。

出力: 0 kW - 500 kW
最大温度: 300 °C - 1,350 °C

... Fibrothal®拡散炉用カセットには、ライトゲージとヘビーゲージがあり、使用目的に応じて横型または縦型に設計され、配置されます。 横型炉と縦型炉の選択は、採用される特定の半導体製造プロセスや製造施設の目標など、さまざまな要因によって決まります。 その選択は、ウェーハサイズ、プロセス要件、製造ワークフロー全体などの要因に影響される場合があります。 実際には、半導体製造には横型炉と縦型炉の両方が使用され、その選択は製造プロセスの特定のニーズと制約に依存します。 それぞれの炉にはそれぞれの用途があり、メーカーが生産設備で両タイプの炉を組み合わせて使用することもあります。 横型カセット カセットは通常200 ...

出力: 0 kW - 500 kW
最大温度: 1,150 °C

... ライトゲージカセットは、正弦波パターンまたはスプリングタイプのコイルに形成されたライトゲージワイヤで構成されています。 ライトゲージとは、カセットの構築においてより小さな直径のワイヤーを使用することを指します。 この構成は、拡散プロセスの正確な制御と応答時間にとって非常に重要です。 用途 LPCVDおよび低温用途: 低温を正確に制御する必要がある場合に使用されます。 LPCVDなどの用途。ポリシリコン、窒化物、低温酸化物。 大気圏。H2焼きなまし、ポリイミド硬化。 高速温度応答用途: ...

... 製品名:拡散炉用発熱体 説明 Saxonburg拡散炉ヒーターは、SUSステンレス鋼のラップとセラミックファイバー断熱材を真空吸着一体化したもので、高品質の太陽電池や半導体製品のシリコンウェハーの製造に使用されます。 縦置き、横置きが可能で、使用温度は200~1350℃です。 メリット 先駆的な6部熱場設計により、極めて優れた温度均一性と省エネを実現。 優れた耐熱断熱性能により、炉のエネルギー消費が少なく、寿命が長い。 オプション 実際の使用状況に応じて、自由な図面設計を提供します。 ご予算に応じて、様々な材料を選択できます。 省エネエレメントや水冷シェルなどのオプションにより、炉の性能を最大限に引き出します。 詳細については、当社のウェブサイトを訪問するか、直接お問い合わせください。 ...

最大温度: 540 °C - 1,150 °C

... 製品名:Mlケーブルヒーター/ファーネス（丸型） 説明 Mlケーブルヒーターは、金属保護管、断熱材と発熱線から構成されています、 ユニークな構造と性能の利点を持っています。 メリット 強い高温抵抗 速い加熱速度 高い温度制御精度 強力な保護性能と長寿命 私達の選択： あなたの実際の使用に従って自由なデッサンの設計を提供しなさい お客様のご予算に応じて、様々な材質を選択できます。 内部コア数、保護スリーブの形状、絶縁材料の純度など、ご要望に応じてカスタマイズ可能です。 詳しくは弊社ホームページをご覧いただくか、直接お問い合わせください。 ...