拡散炉用発熱体

最大温度: 1,100, 1,150 °C

低温処理で高精度を発揮するLGOヒータ ―半導体拡散炉用細線ユニットヒータ― モルダサームヒータLGOは特に半導体拡散炉での高精度低温処理を実現するために開発された、軽量・高速昇降温タイプのセラミックファイバー断熱材ユニットヒータです。ヒータの線径がモルダサームヒータよりも細いため、蓄熱量がさらに少なく、従って高速昇降温が可能です。ねらった温度で安定するまでの時間が早く、均熱性に優れ、低温域処理での精度が抜群です。

最大温度: 1,250, 1,200 °C

コストパフォーマンスに優れ長寿命。HGCヒータ ―半導体用太線コイルユニットヒータ― 最高使用温度1250℃まで使用可能なHGCヒータは、比較的高温処理を繰り返し行う半導体拡散炉用のユニットヒータとして最適です。太線コイルによる熱源は耐久性に優れ、長寿命を実現しています。

出力: 1,050 W - 10,800 W
最大温度: 0 °C - 1,350 °C

Fibrothal®拡散炉用カセットは、太陽電池や半導体向けの高品質結晶シリコンウェハーの製造に適した、「コンセントを挿して加熱するだけ」のソリューションです。 拡散炉用カセットは、1350°C (2460°F)までの運転温度向けの、垂直または水平の発熱体を備えた低質量設計の製品です。 ご要望に応じたヒーターも提供することができます。