拡散炉用発熱体 Fibrothal® ワイヤー式シリコンセラミック製
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特徴
- タイプ
- ワイヤー式, 拡散炉用
- 素材
- セラミック製, シリコン
- 応用
- 産業用, 拡散炉用
- その他の特徴
- 装甲, マルチゾーン
- 出力
最大: 10,800 W
(14.68 hp)最少: 1,050 W
(1.43 hp)- 最大温度
最大: 1,350 °C
(2,462 °F)最少: 0 °C
(32 °F)
詳細
Fibrothal®拡散炉用カセットは、太陽電池や半導体向けの高品質結晶シリコンウェハーの製造に適した、「コンセントを挿して加熱するだけ」のソリューションです。 拡散炉用カセットは、1350°C (2460°F)までの運転温度向けの、垂直または水平の発熱体を備えた低質量設計の製品です。 ご要望に応じたヒーターも提供することができます。
