拡散炉用発熱体

シリコンセラミック製ポリイミド製

ライトゲージカセットは、正弦波パターンまたはスプリングタイプのコイルに形成されたライトゲージワイヤで構成されています。 ライトゲージとは、カセットの構築においてより小さな直径のワイヤーを使用することを指します。 この構成は、拡散プロセスの正確な制御と応答時間にとって非常に重要です。 用途 LPCVDおよび低温用途: 低温を正確に制御する必要がある場合に使用されます。 LPCVDなどの用途。ポリシリコン、窒化物、低温酸化物。 大気圏。H2焼きなまし、ポリイミド硬化。 高速温度応答用途: 急激な温度変化が要求されるプロセスに最適です。 急速冷却用途: 急速冷却が必要な用途に効果的です。 一般的な低質量ヒーターは次のもので構成されます。 ワイヤ屈曲またはスプリングコイルを埋め込んだハーフシェルセラミックモールド。 セラミックモールドをドライブランケットファイバーで裏打ちし、設計された断熱値とバランスのとれた圧縮性を実現。 工具付き真空成形セラミック前室エンドインシュレーター。 さまざまな熱電対位置クランプ。 セラミックリードは内部バス要素にロック。 外部バス上の電源ブロック。