拡散炉用発熱体 LGO

セラミックス繊維

低温処理で高精度を発揮するLGOヒータ ―半導体拡散炉用細線ユニットヒータ― モルダサームヒータLGOは特に半導体拡散炉での高精度低温処理を実現するために開発された、軽量・高速昇降温タイプのセラミックファイバー断熱材ユニットヒータです。ヒータの線径がモルダサームヒータよりも細いため、蓄熱量がさらに少なく、従って高速昇降温が可能です。ねらった温度で安定するまでの時間が早く、均熱性に優れ、低温域処理での精度が抜群です。