NDIRガスセンサー Gasboard-2061

プロセス計測用半導体用ガス精製モニタ用デジタル

製品概要
Gasboard-2061は、タングステンCVD（WCVD）チャンバーの洗浄エンドポイント検出向けに設計されたNDIR方式のWF6ガスセンサーです。プロセス条件下でWF6濃度を高感度かつ安定的に計測し、洗浄の終了判定をリアルタイムで行うことで、洗浄時間の短縮、過剰なガス使用の抑制、チャンバー摩耗の低減に寄与します。

Gasboard-2061はコンパクトでモジュール式の設計により取り付けが容易です。アナログ／デジタルの入出力を備え、較正・調整が可能でプロセス制御システムへの統合が容易です。

特長

• WF6監視に最適化されたNDIR測定方式。
• 濃度変化をリアルタイムで追跡する高速応答。
• 低ゼロドリフトと高い再現性による安定した測定。
• 真空環境での運用に適した密封設計。
• 腐食性のあるプロセス環境に耐える316L製構造。
• 統合・保守に対応するアナログ／デジタルI/O。

仕様
測定成分：WF6
レンジ：0–200 mTorr
再現性：±0.5 %
精度：±1 % F.S.
動作電圧：24 VDC
動作電流：1.5 A（最大）
アナログ出力：0–5 VDC（4ch）または4–20 mA（4ch）
アナログ入力：0–10 VDC（1ch）
デジタル出力：4ch；デジタル入力：1ch
通信：RS485
サンプリングポート：NW25
リーク率：≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s（He）
動作周囲温度：20–35 ℃

注意

• すべてのデータは標準大気圧下で測定されています。
• 校正用ガスは国の計量機関により認定された機関が供給しています。ガスは乾燥窒素（純度99.999%）に希釈されています。
• 上記性能は校正後の値です。生産時に各センサーは100%校正されています。
• 測定は特に指定がない限り25 ℃で実施しています。

技術仕様

• 測定成分：WF6
• レンジ：0–200 mTorr
• 再現性：±0.5 %
• 精度：±1 % F.S.
• 動作電圧：24 VDC
• 動作電流：1.5 A（最大）
• アナログ出力：0–5 VDC（4ch）または4–20 mA（4ch）
• アナログ入力：0–10 VDC（1ch）
• デジタル出力：4ch；デジタル入力：1ch
• 通信：RS485
• サンプリングポート：NW25
• リーク率：≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s（He）
• 動作周囲温度：20–35 ℃