製品概要半導体用途向けに設計された単通路の回転継手。-292 °F(約−180 °C)までの温度で動作可能です。大気中への脱ガスやリークを防ぐ必要がある真空環境での使用を想定した専用アセンブリを備え、クリーンルーム互換の構造で化学物質やガスの取扱いに対応します。
主な特長- 単通路設計
- -292 °F(約−180 °C)までの動作
- 脱ガスを最小化し大気へのリークを防ぐ真空向け専用アセンブリ
- クリーンルーム対応設計
- ステンレス製
技術仕様- 業界:半導体
- 媒体タイプ:化学薬品、ガス
- 使用環境:クリーンルーム / 真空用途
- 材質:ステンレス
- 最大圧力:100 PSI(7 bar)
- 最大回転数:30 RPM
- 通路数:1
- 通路径:0.188"(4.8 mm)
- 貫通穴:無し
- 直径:2.880"(73.2 mm)
- 長さ:2.150"(54.6 mm)
関連プロジェクト / 業界仕様 / 技術仕様- 型番 / 参照:WB-06111
- 構成:単通路回転継手
- 対応温度:-292 °F(約−180 °C)まで
- 圧力定格:最大100 PSI(7 bar)
- 回転速度:最大30 RPM
- 通路径:0.188"(4.8 mm)
- 通路数:1
- 貫通穴:無し
- 外径:2.880"(73.2 mm)
- 全長:2.150"(54.6 mm)
- 材質:ステンレス
- 想定環境:クリーンルーム / 真空用途(低脱ガス、リーク封じ込め)