技術データ
接液材料標準フローボディ-316ステンレス鋼
Oリング利用できるVitonかFFKM
出力信号: 0~5 VDCの線形最低負荷1000Ω
入力電源: 利用できる 24VDC、15VDC および 12VDC
精度:±1.5%F.S.(10SCCM~5SLMの場合、直線性を含む)
±5% F.S (0~25% フローレンジ)
±2% F.S (25~100% 流量範囲)
ターンダウン比:50:1
繰り返し精度:±0.15%FS以上
電気接続5ピンポストヘッダー(相手コネクタと一緒に提供)
プロセス接続1/4 "NPTメス
レンジ0-10 SCCM~0-50 SLM
最低圧力: 40'' H2O
最大圧力最大圧力: 500 PSIG
温度範囲0~50℃
応答時間: 1秒
温度。係数:0.05%フルスケール/ 1℃以上
圧力係数:0.01%フルスケール/PSIG以上
重量: app。 0.5kg
---