化学気相成長貯蔵マシン DA600 PRO

製品概要
DA600PRO ダイヤモンドコーティング装置は、並列ホットフィラメントアレイと二重水冷構造により均一な温度場を実現し、超ナノ結晶、ナノ結晶、ミクロン結晶のダイヤモンド膜を大面積および各種膜厚で合成します。フィラメント設計により故障率が低く安定性が高められ、チャンバー圧制御によりフィラメント破損をさらに低減します。高出力の加熱電源により、コーティング性能を損なうことなくバッチ当たりの積載能力が向上します。本装置は工具用途を含む多様な基材に対応します。被覆された切削工具の膜厚ばらつきは15%以内で管理されます。

主な利点

• 並列ホットフィラメントアレイと二重水冷による均一な温度分布。
• 最適化されたフィラメント構造とチャンバー圧制御による安定したフィラメント動作と破損低減。
• 40 kWの加熱電源による高いバッチ容量。
• 切削工具に対する膜厚均一性：ばらつき15%以内。
• ホットフィラメントCVDプロセスによる幅広い基材・工具への対応。

適用例

• 切削工具（エンドミル、PCB切削工具等含む）
• グラファイトおよび複合材（CFRP）
• PCB用セラミック基板および導電性コーティング
• AlSi合金（Si > 12%）
• 木工工具およびシャンク／平面ワークピース

製品パラメータ（表）
型式：DA600PRO
有効コーティング面積：300 × 300 mm
チャンバー内寸：2600 × 2100 × 700 mm³
コーティング厚さ：4–30 μm
最大加熱出力：40 kW
容量（D3）：600 個
コーティング方式：Hot Filament CVD
適用製品：PCB切削工具、導電性コーティング、シャンク工具、インサート等の平面ワークピースのコーティング

特長 / 技術仕様

• 型式：DA600PRO
• 有効面積：300 × 300 mm
• 内部寸法：2600 × 2100 × 700 mm³
• チャンバー容積：0.16 m³（報告値）
• コーティング厚さ範囲：4–30 μm
• 最大加熱出力：40 kW
• 容量：バッチあたり600個（D3）；一部に500個積載の記載あり
• コーティング技術：Hot Filament Chemical Vapor Deposition（HFCVD）
• 切削工具向け膜厚均一性：< 15%
• 対応基材：切削工具、グラファイト、CFRP、PCBセラミック基板、AlSi合金（Si > 12%）、木工工具、インサートおよびその他の平面部品