研削用スピンドル DQFX-16506

電動式水冷式

概要
DQFX-16506 は、スピンドル本体径 Φ165 mm の半導体研削用スピンドルで、最大 6,000 rpm の回転速度で 200 mm（8 inch）研削砥石を支持します。連続出力（S1）8.5 kW、連続トルク（S1）13.5 N·m を供給し、振動速度は ≤ 0.15 mm/s を維持します。エアベアリングと水冷を採用し、同期モータで駆動、工具交換は手動です。

主要仕様
直径：Φ165 mm
最大回転数：6,000 rpm
研削砥石：200 mm（8 inch）
連続出力（S1）：8.5 kW
連続トルク（S1）：13.5 N·m
振動速度：≤ 0.15 mm/s
重量：79.5 kg

技術仕様

• 型式：DQFX-16506
• スピンドル本体径：Φ165 mm
• 対応砥石：200 mm（8 inch）
• 最大回転速度：6,000 rpm
• 連続出力（S1）：8.5 kW
• 断続出力（S6）：12.75 kW
• 連続トルク（S1）：13.5 N·m
• ピークトルク（S6-40%）：20.3 N·m
• モータタイプ：同期モータ
• ベアリング：エアベアリング
• 最大電気周波数：400 Hz
• 定格電圧：220 V
• 定格電流 S1：27 A
• 定格電流 S6：40.5 A
• エア供給：76–84 L/min（0.6 MPa）
• 冷却：水冷、流量 ≥ 2.5 L/min
• モータ温度センサー：KTY84-130
• 工具交換：手動
• 振動速度：≤ 0.15 mm/s
• 重量：79.5 kg

用途

• 200 mm までの半導体ウェハー／ディスクの精密研削。
• 低振動・高安定性を必要とするウェハー処理ライン、研究開発用研削ステーション、精密研削機への組み込み。
• 必要条件：圧縮空気 76–84 L/min（0.6 MPa）および水冷流量 ≥ 2.5 L/min。