レーザー刻印・彫刻機 HDZ-WAF600

ウェハー用トレーサビリティ付き高精度

概要情報

• ウェハレベルの識別とトレーサビリティ向けに設計された全自動ウェハレーザーマーキング装置。
• レーザーオプション：UVまたは緑色レーザー。微細な焦点で非接触マーキングが可能。
• 自動搬送（供給/排出）、自動エッジ検出、異常時自動アラーム機能を搭載。
• PC制御（Windowsプラットフォーム）、英語インターフェース、社内開発ソフトウェアによるプロセス管理。
• 水冷式、最終処理の繰返し位置決め精度 ±0.05 mm、ダイレベルでの精密マーキングが可能。

用途
6インチ、8インチ、12インチのウェハに対応し、半導体の識別、トレーサビリティ、コード印字、工程マーキングに適用できます。

マーキング効果

• ウェハレベルのマーキング
• ドットマトリクス文字マーキング

仕様
モデル | HDZ-WAF600
レーザー種類（オプション） | UV / 緑色レーザー
代表的レーザー出力 | UV 7W、緑色 10W（カスタマイズ可）
冷却方式 | 水冷
最終処理 繰返し位置決め精度 | ±0.05 mm
対応ワーク | 6インチ、8インチ、12インチ ウェハ
電源 | 220V、50Hz
外形寸法（参考） | 1950 mm × 1650 mm × 1635 mm


特徴 / 技術仕様

• モデル：HDZ-WAF600
• 自動化：全自動搬送（供給/排出）、自動エッジ検出、異常時自動アラーム
• 制御・ソフトウェア：PC制御（Windows）、英語インターフェース、自社開発ソフト
• マーキング：非接触でダイレベルの精密マーキングに対応；ウェハレベルおよびドットマトリクスマークに適合
• 位置決め精度：±0.05 mm（最終処理繰返し）
• 冷却：水冷
• 対応ウェハサイズ：6"、8"、12"
• 電源：220V、50Hz