電動式円テーブル DMT series

傾斜工作機械用大型サイズ

HIWINダイレクトドライブロータリーテーブルは、設計作業を必要とせず、機械コンセプトに直接組み込むことができる、すぐに取り付け可能な回転軸です。メンテナンスフリーのダイレクトドライブを採用しているため、高トルク性能と優れた精度を実現します。ダイレクトドライブ回転テーブルは、さまざまなエンコーダインターフェースを備えているため、市販のあらゆる機械制御システムに簡単に統合でき、既存のあらゆる機械コンセプトに対応します。 大型中空シャフト付きウルトラフラット回転テーブル。半導体の製造や検査に使用され、非常にフラットでダイナミック、メンテナンスフリーの回転軸は、高い位置決め精度と同期品質が要求される用途に適しています。耐チルト性、バックラッシフリー設計により、低背にもかかわらず高いトルク密度を実現しています。高分解能エンコーダは、インクリメンタルタイプとアブソリュートインターフェースがあります。大型中空シャフトにより、最大12インチサイズのウェーハ全体または透過光でのアプリケーションの通過が可能です。CADデータおよび技術データシートはダウンロード可能です。