分光学エリプソメータ

「 Horibaは薄膜の品質管理のための解決の大きい範囲を提供する。現場およびインラインのような多数のellipsometerは研究と企業の制御プロセスで使用される。薄膜の監視から適用範囲が広い装置の大きい区域の地図を描くことおよびインライン性格描写への。副単一層の決断の薄膜の沈殿の現場の分光ellipsometersの割り当ての実時間監視そして制御。それは提供するフィルム厚さおよび光学constants. \ /htmlの実時間推定を」