熱蒸発器 LSC series

加工液体用

HORIBAのベストセラーベーキングシステムは、今日のハイテク産業の要求を満たすために開発されました。キャリアガスを必要とせず、TEOS（600SCCM）、H2O（2SLM）などの材料を安定的に気化させることが可能です。また、メンテナンスのしやすさを考慮し、装置の前面からすべてのメンテナンスを行うことができます。 特徴 大流量ガス化 TEOS 600SCCMやH2O 2SLMなどの原料を安定的にガス化することができます。 装置のメンテナンスはすべて本体前面で行うことができる オプションのPocketPC型PDAを使用することで、LSCの運転状況の監視や運転ログの記録・解析が可能です。