液体用蒸発器 MV-2000 series

低温

純水や液体材料を気化（ガス化）する気化システムです。トルネードフロー方式による高効率気化により、低温度での安定気化を実現。半導体プロセスで使用される"液体材料:High-k材料など"の安定気化システムとして最適なモデルです。キャリアガス制御用マスフローコントローラと液体材料の流量計測用マスフローメータのセットアップで、高効率な気化システムが完成します。 特長 トルネードフロー方式による安定気化　 高効率気化方式により、低温度での安定気化を実現。 熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。 トルネードフロー方式による大流量気化 高効率気化方式により、当社従来品と同じ温度条件で大流量気化が可能。 同じフットプリントでの大流量化により、新たなレイアウト変更が不要です。 コンパクトな気化システムの構築が行え、理想的なレイアウトデザインが可能 RoHS指令対応