密閉構造と高耐久性ステンレススチールストリップカバーにより、クリーンルーム仕様を実現。アクチュエータ本体は無電解メッキ仕上げで耐食性に優れています。アクチュエータには真空吸引ポートがあり、可動部から発生する粒子を排出します。これらのリニアアクチュエータは、209Eクリーンルーム分類とクラス10 VDI 2083-8規格に適合しています。
ストローク mm: 50 - 600
ボールねじリード mm: 5, 10
モーターマウントサイズ Nema17, Nema23
モータータイプ ステッピングサーボ/エンコーダ 4000ppr
繰り返し精度:ミクロン±5
精度ミクロン/mm:20/300
荷重kg : 50
速度 : mm/sec 100 (ステッパー) 200 (サーボ)
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