リニアポジショニングステージ L90-12+R100

回転モーター式2軸

RotoLinear Z(Lift) - θ(θ)ポジショニングモジュールは、ピックアンドプレースアプリケーションにおいて、従来の電気機械式アクチュエータに代わる高性能な2軸エアベアリングシステムです。最新のブラシレスサーボモータ、エンコーダ、エアベアリング技術を組み合わせ、非常にコンパクトなパッケージで、正確でプログラム可能な位置と速度制御を実現します。このZ-θステージは、2軸平面とエアベアリング技術を採用しています。ドライブ、ベアリング、フィードバックは完全に非接触です。ロトリニアステージには、ステージ上面に補助真空ラインと電気ラインを通すためのホールスルーがあります。プラナーXYフォーサーに取り付けて、ロボットX-Y-Z-θセルとして動作させることができます。