リニアポジショニングステージ RTHM-151

XY軸回転モーター式

RTHMシリーズの回転ステージは、マイクロステッピングやブラシレスサーボモータコントローラから駆動することで、アーク秒単位の分解能を実現しています。コンパクトな精密ベアリングの採用により、薄型設計を実現しています。ステージの回転キャリッジは、最大10kgまでの荷重を連続的に回転させることができ、ステージ内に直接光路やケーブルを通すことができるように、大きな開口部を設けています。ステージ本体は軽量アルマイト製で、光学テーブルや可動式リニアアクチュエータやXYアクチュエータに直接取り付けることができ、任意の向きに取り付けることができます。ステッパーモーターの回転運動をキャリッジの回転運動に伝達するために精密ウォームギアアセンブリを採用しています。小型であるため、レーザーキャビティ、ディスクテクスチャリング装置、ファイバー光学部品の製造エリア、半導体製造などの狭いスペースでの使用が可能です。 真空対応のロータリーステージRTHM-174とRTHM-190は、10-6 Torrの真空度で動作するように設計されています。