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XY軸ポジショニングステージ XY-OF1-UL-200x200-LM-POリニアモータ駆動2軸精密
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特徴
- 方向
- XY軸
- タイプ
- リニアモータ駆動
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- 精密, 顕微鏡, ロープロファイル, オープンフレーム
- ストローク
200 mm
(7.874 in)- 速度
600 mm/s
詳細
幅広い自動高精度位置決めアプリケーション用に設計されたロープロファイルのオープンフレームXYステージ。
ユニットの側面に配置されたリニアモーター駆動機構は、光または物体が移動中心を通過することを可能にするために、遮るもののない明確な2軸開口部を提供します。
1ミクロンの分解能を持つ精密リニアエンコーダを搭載したXYテーブル
ストロークXY：mm 200x200
絞り：mm 200x200
テーブルトップ : mm 380x380
高さ : mm 140
精度：ミクロン10
バックラッシュ：ミクロン0（リニアモーター/エンコーダー
真直度：ミクロン10
分解能：ミクロン0.5、1.0
モータータイプ. リニアモータ/エンコーダ(オプション)
繰り返し精度：ミクロン1（リニアモーター/エンコーダー
耐荷重：kg 10
テーブル重量：kg 15
最高速度：mm/sec 600（リニアモータ
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