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XY軸ポジショニングステージ XY-65-10X10AUTリニア サーボ モーター2軸顕微鏡
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特徴
- 方向
- XY軸
- タイプ
- リニア サーボ モーター
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- 顕微鏡, ロープロファイル
- ストローク
10 mm
(0.394 in)- 速度
500 mm/s
詳細
リニアモータとミクロン級リニアエンコーダを備えた薄型、ショートストロークXYステージ
ストローク（mm） 10x10
繰り返し精度（µm） 0.5
分解能（µm） 0.5
負荷容量 (kg) 2.5
速度（mm/sec） 500
駆動方式 ダイレクトドライブ
モーター リニア、コアレス、サーボ
サイズ（mm） - 65x65
高さ（mm） - 15
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