スカラロボット IWH Series 1

ウェハー運搬用

シリーズ1ロボットは、ウエハーハンドリング用に設計されています。モジュラーシステムにより、7インチから21インチのZストロークまでの様々なベースボディと、10.5インチから28インチまでの多数の異なるアームモジュールの組み合わせが可能です。また、軸の適切な組み合わせにより、最大3kgまでの重量を扱うことも可能です。