ウェハー運搬用ロボット

可搬質量: 5 kg
可動域: 250, 350, 400 mm
繰り返し性: 0.01 mm

生産設備の省スペース化に貢献。小型ながら高い剛性を誇り超精密組立が可能な小型スカラロボットの特長をご紹介します。 特長 高剛性・高精度を実現する内部構造 完全ベルトレス構造 ZR軸ダイレクトカップリング構造により完全ベルトレス構造を実現しました。ベルトレス構造によりロストモーションを大幅に削減。長期間にわたり高精度を維持できます。また、ベルトの破損、伸び、経年劣化の心配をすることなく長期間メンテナンスフリーでご使用いただけます(全てのXGシリーズとYK180X/YK220Xが対象です)。 高速性 標準サイクルタイムが早いのはもちろんですが、ヤマハは実用域のタクトタイムも重視しています。減速比やモータ最高回転数の見直しにより最高速を大幅に向上。特に長距離移動時のタクトタイム向上に寄与します。

... このロボットは、ウェーハ（またはセル）を入側ベルトから出側ベルトの1～5本のトラックに搬送し、またその逆も行います。 さらに、ウェハーはトレイに仕分けされたり、トレイから取り出されたりします。個々のベルトがウェーハを搬送するため、異なるウェーハサイズに変換する必要がなく、穏やかな搬送が保証されます。 内蔵されたカメラシステムにより、ウェーハの位置、欠陥、重なりを検出します。位置のずれたウェーハは正しい位置に配置され、破損したウェーハや重なったウェーハは除去されます。 特殊なベルヌーイグリッパーを開発し、非接触で優しくグリップすることができます。 4,000枚/hの高スループット 移動可能で交換可能なボックスでの保管 ダブルウェーハ、割れウェーハの検出とボックスへの収納 6インチウェーハの欠陥検出とボックスへの分離回収により、5インチウェーハへの変換が可能。 最終トラックでの追加破損検出と除去により、次工程での堆積を防止します。 ダイヤモンドワイヤーカットウェーハに対応 アクセス性が良いため、メンテナンスが容易 ...

可搬質量: 6 kg
可動域: 750 mm
繰り返し性: 0.1 mm

可搬質量: 0 kg - 1 kg
繰り返し性: 0.02 mm

... シリーズ1ロボットは、ウエハーハンドリング用に設計されています。モジュラーシステムにより、7インチから21インチのZストロークまでの様々なベースボディと、10.5インチから28インチまでの多数の異なるアームモジュールの組み合わせが可能です。また、軸の適切な組み合わせにより、最大3kgまでの重量を扱うことも可能です。 ...