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電気ファイバー束リトグラフシステム
JBX-3050MV
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特徴
タイプ
電気ファイバー束
詳細
最先端技術で高速、高精度、高信頼性を実現しています。 加速電圧50 kVの可変成形ビームとステップ&リピートステージ方式を基本とした描画装置です。 特長 ステップ & リピート描画方式のメリットを生かし、描画ドーズ量変調機能、重ね描画機能等を組み合わせることにより、次世代マスク/レチクルのパターニングに求められる多種多様な補正に対応することができます。 導入実績 国内外のキャプティブマスクショップとマーチャントマスクショップ。
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
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