高圧ガス貯蔵装置 JW-300-GR

半導体向け高純度・高圧ガスボンベ保管および圧力調整キャビネット JW-300-GR
半導体製造では、高純度で高圧の特殊ガスの安全な保管と精密な供給がプロセス安定性と安全性に不可欠です。JW-300-GRは、ガスボンベ保管キャビネットと圧力調整キャビネットを組み合わせ、クリーンルーム要件と産業安全基準に対応します。

ガスボンベ保管キャビネット
窒素、アルゴン、水素などの特殊ガス向けに設計され、外部リスクからボンベを保護し、不正アクセスを抑制する安全な収納を提供します。耐腐食材料で構成され、ガスの滞留を防ぐ換気システム、耐火構造、施錠機構を備えています。内部の整理や明確なラベリングにより、稼働の速いファブでの迅速な識別と交換が可能です。

圧力調整キャビネット
圧力調整キャビネットは、レギュレータ、遮断弁、監視装置を収容し、装置へ所定圧力でガスを供給します。統合センサーとアラームにより漏れや圧力変動を検知して安全動作を実行します。材料・シールはクリーンルーム適合で、高純度ガスの汚染を防ぎます。自動制御やリモート監視オプションによりダウンタイムを低減し、プロセスのトレーサビリティを向上させます。

概要
保管キャビネットと圧力調整キャビネットは連携して、特殊ガスの安全な格納と正確な供給を実現し、半導体製造における精度要件と規制遵守を支援します。

技術データ
Model: JW-300-GR
Specification: Single bottle/double bottle
Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
Control cabinet power supply: Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge: PN2,1/4” MVCJ
High pressure holding: HPN2,1/4” MVCJ
Vacuum: GN2.1/4” MVCJ
VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
Operation interface: 7″ color touch screen/buttons

オプション

• 重量計
• パネル加熱
• 過流量スイッチ
• Ethernet通信モジュール
• CGA Guarder

仕様 / 技術仕様

• Model: JW-300-GR
• Specification: Single bottle/double bottle
• Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
• Control cabinet power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
• Purge: PN2, 1/4” MVCJ
• High pressure holding: HPN2, 1/4” MVCJ
• Vacuum: GN2, 1/4” MVCJ
• VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
• Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
• Operation interface: 7″ color touch screen / buttons
• Optional features: 重量計; パネル加熱; 過流量スイッチ; Ethernet通信モジュール; CGA Guarder