ガス配布装置用システム JW-200-VMB

圧縮空気用産業用

バルブマニホールドボックスおよびガスキャビネット/パネル（VMB/VMP）

概要
VMB（バルブマニホールドボックス）およびVMP（バルブマニホールドパネル）は、高純度ガスや特殊ガスを工業環境で制御分配するためのモジュールです。単一のガス供給を複数の出口（通常4〜8系統）に分配し、半導体工場、研究室、特殊ガス供給システムにおいて危険性のあるガス、反応性ガス、超高純度ガスの安全な運用・保守を目的に設計されています。

特徴と用途

• 構成：危険/反応性ガス用の密閉キャビネット、または不活性ガス用のパネル。
• 制御方式：手動からPLC統合による完全自動化まで対応。
• 安全システム：ベント/パージ、真空発生、UV/IR検出、有害ガス検知器、緊急遮断弁、防爆キャビネットおよび自己ロック式ドア。
• 高純度設計：オービタル溶接されたマニホールド、パージ可能なハウジング、半導体グレードガスに適合する材料。
• 特殊キャビネット：TMAキャビネット（発火性/高度反応性ガス向け）にスプリンクラー、漏洩検知、専用排気を装備可能。
• スクラバートリートメント：化学洗浄およびろ過により有害副生成物を中和し環境規制に適合。
• 主な用途：半導体ファブ、特殊ガスのバルク供給、原子層成長（ALD）、研究室。

技術データ
モデル：JW-200-VMB、JW-100-VMB
仕様：4S / 6S / 8S
特注キャビネット寸法：W870×D340×H1680
制御盤電源：220VAC、50Hz、500W
加熱電源：220VAC、50Hz、1–6kW
パージ：PN2、1/4” MVCJ
真空：GN2、1/4” MVCJ
VENT 排水管：1/2” MVCJ
空気源（空圧）：CDA driver、1/4" SWG
キャビネット換気：OD 100mm、70 m3/hr
標準装備：防爆キャビネット、防爆自己ロックドア、防爆観察窓、遠隔遮断
操作インターフェース：7" カラータッチスクリーン

オプション

• UV/IR センサー
• パネル加熱
• イーサネット通信モジュール
• 高温スイッチ
• 煙検知器

対応ガス（例）
SiH4、NF3、NH3、N2O、HCl（キャビネット構成および接触材料により選定）

技術仕様

• ブランド：Jewellok
• モデル：JW-200-VMB、JW-100-VMB
• 出口数 / スティック：4S / 6S / 8S
• 特注キャビネット寸法：W870×D340×H1680
• 制御盤電源：220VAC、50Hz、500W
• 加熱電源：220VAC、50Hz、1–6kW
• パージシステム：PN2、1/4” MVCJ
• 真空システム：GN2、1/4” MVCJ
• VENT 排水管：1/2” MVCJ
• 空気源：CDA driver、1/4" SWG
• キャビネット換気：OD 100mm、70 m3/hr
• 標準装備：防爆キャビネット、防爆自己ロックドア、防爆観察窓、遠隔遮断
• 操作インターフェース：7" カラータッチスクリーン
• 選択可能オプション：UV/IR 検出、パネル加熱、イーサネットモジュール、高温スイッチ、煙検知器
• 典型的用途：高純度ガス分配、反応性/発火性ガス用TMAキャビネット、BSGS大流量システム、排気ガス処理