概要JW-300-GCは、超高純度(UHP)および高純度特殊ガスの精密供給を目的に設計された全自動ガスキャビネットです。シングルボンベ/ダブルボンベの構成を選択可能で、自動切替、制御されたパージおよび安全システムを統合し、半導体・マイクロエレクトロニクス、研究所、産業用ガス配分に対応します。
主要仕様- 型式:JW-300-GC
- 構成:シングルボンベまたはダブルボンベ
- キャビネット寸法(ダブル):W800 × D633 × H2172 mm
- キャビネット寸法(シングル):W600 × D661 × H2104 mm
- 制御電源:220 VAC、50 Hz、500 W
- 加熱電源:220 VAC、50 Hz、1–6 kW(設定可能)
- パージ接続:PN2、1/4" MVCJ
- 高圧保持接続:HPN2、1/4" MVCJ
- 真空接続:GN2、1/4" MVCJ
- ベント/排水:1/2" MVCJ
- 空気供給(空圧):CDA driver、1/4" SWG
- キャビネット換気:外径150 mm;シラン 810 m³/h;その他ガス 204 m³/h
- 操作画面:10インチカラータッチパネル
標準装備- 自動ボンベ切替および自動パージ
- 防爆構造キャビネット(自己施錠ドア・防爆観察窓)
- 漏洩警報および遠隔非常遮断
- 負圧警報
オプション- UV/IR 炎検出器
- Cylinder Shutboy
- パネル加熱
- Ethernet 通信モジュール
- CGA Guarder
- 過流スイッチ
- 空圧シリンダー制御
- 計量スケール
- ボンベ加熱
用途- 半導体・マイクロエレクトロニクス向けガス配分
- 研究所およびR&D施設
- コーティング、表面処理、特殊製造ライン
- UHP/高純度ガスの制御供給が必要な工程
ページに含まれる画像- 製品のメイン画像と、構成・パネル・操作部を示す内部写真