二ードルバルブ FC-20

空圧式制流パージ

高分解能電子流量制御バルブは、半導体業界のニーズを満たすために設計された次世代の流量制御バルブです。サーボモーターと光学式位置センサーを使用し、リーク・パージ用途に低リーク率で超高分解能と再現性を実現します。シングルシート設計で差圧がない高分解能バルブは、従来のニードルバルブより優れた性能を発揮します。 高分解能電子流量制御バルブ 高分解能電子流量制御バルブはシングルシート設計で、バルブの作動に差圧は必要ありません。サーボモーターと光学位置センサーにより、超高分解能、再現性、低リーク率を実現し、リーク・パージ用途に適しています。 高分解能バルブは、半導体業界のニーズを満たすために設計された次世代の流量制御バルブです。 高分解能バルブは、半導体業界のニーズを満たすために設計された次世代の流量制御バルブです。サーボモーターと光学位置センサーを使用し、超高分解能と再現性を低リーク率でリーク・パージ用途に提供します。シングルシート設計で差圧がない高分解能バルブは、従来のニードルバルブより優れた性能を発揮します。 この技術の詳細はこちらをご覧ください：[リンク］ 高分解能バルブには、特許を取得した数々の革新技術が含まれています。 高分解能バルブは特許を取得した革新的な技術を数多く含んでいます。 特に、当社の設計は、前例のないレベルの精度と流量制御を提供します、