流量調整用バルブ FC1500AKMF1500

二ードル電動式マイクロ

製品詳細
FC1500AKMF1000シリーズは、比例流量制御バルブFC1500とMEMSガス流量計で構成されています。FC1500は、マイクロステップステッピングモーターで駆動される高度に洗練されたニードルバルブです。ターンダウン比は最大400:1に達し、高精度、再現性、ヒステリシスを備えています。FCバルブは、空気、水、油に対応しています。VitonまたはFFKMのOリングを選択でき、ボディ素材はアルミニウムまたはステンレススチールです。
MEMSガス流量計は、応答時間が速く、高精度です。空気に対応し、校正されています。非常に安定した出力信号と低消費電力を備えています。流量計とFCバルブの組み合わせにより、高解像度での高流量制御において優れた性能を発揮します。
すべての製品は、ISO13485品質システムを備えたCE、SGS、RoHS認証を取得しています。

特徴

• コンパクト
• 高精度
• 高感度
• 高解像度

産業用途

• 半導体装置
• 冷却機械
• 動的流量制御

仕様
タイプ | FC1500AKMF
流量範囲 (SLPM) | 0-25 / 0-50 / 0-250 / 0-1000
最大圧力 | 5 bar (72.5 psig)
入力信号 | 0-10V / 0-5V / 4-20mA / RS485
モニター出力 | 1-5V / RS485
電源 (VDc) | 24 VDc (12W)
媒体 | 清浄圧縮空気または5 µmフィルター付き
精度 | ±1.5% F.S
再現性 | 0.025%
バルブ解像度 | 0.5 L/min (*入口圧力1bar (14.5psi))
ターンダウン比 | 100:1
表示 | SLPM (瞬時流量) / SL (累積流量)
温度 (流体) | 10~65℃
温度 (環境) | -25~85 ℃
ポート | G3/8"
マニホールド素材 | アルミニウム
湿潤材料 | アルミニウム、Viton
電気接続 | EDZ1550/4
校正 | 空気、20℃、101.325kPa

特徴 / 技術仕様

• モデル: FC1500AKMF1500
• バルブタイプ: MEMSガス流量計付き比例流量制御バルブ
• ターンダウン比: 最大400:1
• 対応媒体: 空気、水、油
• Oリングオプション: VitonまたはFFKM
• ボディ素材: アルミニウムまたはステンレススチール
• 認証: CE、SGS、RoHS、ISO13485