製品概要:CellaCrystal PX 64は、CVD(化学蒸着)コーティングプロセスでの温度測定向けに設計された赤外線ピロメータです。特殊波長により、プラズマ支援蒸着などの高要求な薄膜用途にも適しています。
主な特長:- 測定範囲:500〜1400 °C
- プラズマ支援CVDでの測定用に開発
- 連続光二色測定方式
- 回転フィルター不要
- 自己発熱が最小で長期安定性に優れる
- 測定距離を正確に調整可能な焦点調整レンズ(PZ 20.03)
- 標準インターフェース:IO-Linkおよびアナログ出力(0(4)–20 mA)
- オプション:内蔵ビデオカメラおよびレーザーパイロット
技術仕様:- 測定範囲:500 - 1400 °C
- 焦点距離:0.2 - 0.4 m
- 照準方式:レンズ透過視野、レーザーパイロット、ビデオカメラ(オプション)
- 測定領域形状:円形
- 距離比(D:S):75 : 1
- レンズ:PZ 20.03(接写用)
- 測定原理:二色法(デュアルフォトダイオード)
- 波長域:1.50 / 1.90 μm
- 応答時間 t98:≤ 30 ms
- 測定不確かさ:読み値の0.75 %(°C)、最小4 K
- 再現性:2 K
- 温度係数:0.05 %/K
- 電流出力分解能:0.2 K + 選択レンジの0.03 %
- インターフェース分解能:0.1 K;表示分解能:1 K
- アナログ出力:0(4) - 20 mA、リニア、切替可、スケーラブル;抵抗 ≤ 500 Ω
- スイッチ出力:2 × オープンコレクタ 24 V DC、≤ 150 mA
- インターフェース:IO-Link
- 電源:24 V DC ±10 %;消費電流 ≤ 175 mA(24 V DC)
- カメラ(オプション):コンポジットPAL映像出力、1 Vpp、75 Ω
- 表示:4桁赤色LED、文字高8 mm;状態表示:4 × LED;操作部:3ボタン
- 接続:M12 5ピン
- 周囲温度:0 - 65 °C;保管温度:-20 - +80 °C
- 許容湿度:95 % r.H. 最大(結露しないこと)
- 寸法:Ø 65 mm × 220 mm(最大277 mm)
- 筐体:ステンレス鋼 V2A(1.4305)
- 保護等級:IP 65(DIN 40050)
- 質量:約0.9 kg
- 調整可能パラメータ:アナログ出力スケーリング、平滑化フィルタ、メモリ動作およびホールド時間、放射率、透過率、アラーム限界とモード、ATDパラメータ、電流/温度シミュレーション、単位 °C/°F、測定チャネル選択(二色、単色1/2)、汚染監視閾値;カメラモデルでは追加で:TBC、ホワイトバランス、測定点番号
- 機能:過温度信号(内部温度 > 75 °C)、サービス機能(測定値または電流信号のシミュレーション)、連続しないプロセス向けATD(自動温度検出)
付属品:- ピロメータ CellaCrystal PX 64
- 接続ケーブル VK 02/L AF 1(5 m)
- 内蔵カメラ搭載モデル用ビデオケーブル VK 02/F(5 m)
- 簡易マニュアル
用途:- CVDおよびプラズマ支援蒸着工程での温度監視・制御
- 産業生産における薄膜コーティング工程
- コーティング技術の研究開発