3D顕微鏡 VK-X4000

光学分析用計測学用

3つの測定原理を 1台に搭載 レーザ共焦点・フォーカスバリエーション・白色干渉の 3つの異なるスキャン原理が1台で使用できます。 サンプルワークの素材や形状や測定範囲にあわせて 最適なスキャン方式を選択することにより、 高精度に測定できます。 複数箇所も複数ワークも 自動測定 複雑な設定は不要で、多点測定を自動化する 「マルチポイント測定」機能を搭載。 作業時間を減らしながら、測定サンプリング点数を増やすことで、付加価値の高い業務に充てる時間を創出しつつ、 客観的評価における信頼性も同時に向上させます。 12インチウエハ対応 大型電動ステージ 新登場 可動ストローク300 mmの大型XY電動ステージで 12インチウエハも全面カバー。 通常のステージには収まらない大きなサンプルの測定のみでなく マルチポイント測定との組み合わせで、 多くのサンプルを１度に自動測定可能となります。 従来比4倍の視野 白色干渉5倍レンズ 白色干渉5倍レンズが新登場。 従来比4倍の視野で広範囲測定が可能となりました。 小さな形状変化も正確に捉え、 スキャンが難しい透明体や鏡面体にも対応できます。