温度測定システム SensArray®

工具自動

In Situ 温度測定オートメーションパッケージ SensArray® オートメーションパッケージは、プロセスツールチャンバ温度測定を迅速に自動収集します。 パッケージには、オーバーヘッドトラック（OHT）互換FOUP、オートメーションステーション、システムオートメーションコントローラ、オフィスPCソフトウェアシートコンポーネントが含まれています。 SensArray FOUPは、SPCチャートに直接データを移植して、任意のプロダクションFOUPと同じように処理できます。 SensArray Automationは、プロセスツールの可用性の向上、エンジニアリングリソースの効率的な使用、および工場のMESデータベースでの一元化されたデータストレージによる生産性の向上を実現します。 アプリケーション プロセス開発、プロセス資格、プロセスツールの監視、プロセスツールの適格、チャンバーマッチング、プロセスツールのマッチング