質量流量調節器 5100 ガス用ステンレススチール製アナログ
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特徴
- 技術
- 質量
- 流体
- ガス用
- その他の特徴
- アナログ, 産業用, ステンレススチール製
- 圧力
最少: 50,000 Pa
(7.252 psi)最大: 300,000 Pa
(43.511 psi)
詳細
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 10SCCM～20SLM
■精度：±1%F.S.
メタルシール
微小流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリューム低減
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